Graphite for Semiconductor Applications
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Description
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這家SiC襯底企業(yè)獲數(shù)億元D輪融資,第三代半導(dǎo)體材料市場爆發(fā)在即!
在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在,采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中,使工件使用壽命更長、更加減磨省電。我司主要采用德國半導(dǎo)體等級石墨材料,精密制作離子注入用石墨耗材,提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。
高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料,對離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力,很強(qiáng)的抗腐蝕性,純度高沒有金屬離子不會(huì)對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染,金屬部件顯露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗,故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作隔離罩。用于等離子cvd用部件等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、movcd感受器等。
| Industry Category | Construction & Building |
|---|---|
| Product Category | |
| Brand: | 弘信新材 |
| Spec: | |
| Stock: | |
| Origin: | China / Zhejiang / Ningboshi |